高精度转移台：
a. 衬底载物平台：
样品台温度可以在室温-220℃范围控制，精度±0.1℃，可存储10个变温转移工艺，每个工艺10段温度变化。升温时间及输出功率可调节。
（1）手动XY轴行程13/25mm可选，调节精度1um；
或：电动XY两轴精密位移平台，行程范围25mm。
（2）R轴手动旋转任意角度（5°以上精度是1°，5°以下精度是0.1°）
或：电动面内旋转模块，最小旋转精度0.005°。
b. 载玻片移动平台：
（1） 手动XY轴行程13/25mm可选，调节精度1um；
或：电动XY两轴精密位移平台，行程范围25mm。
（2）手动Z轴升降，粗调1um精度，细调0.5um精度；
或：电动样品Z轴升降，行程范围10mm，最小行程精度0.5um；
或：电动样品Z轴升降，行程范围20mm，最小行程精度0.1um；
或：电动样品Z轴升降，行程范围10mm，最小行程精度2nm。
应用方向：异质结慢速贴合，手套箱内自动贴合等；
c. 真空自动吸附样品，风冷样品台气路。
d. .360°可旋转夹具，方便安装载玻片，灵活调整；
e. .X/Y方向倾斜角度-10～10°；
f. 悬臂与样品台贴合时，视野调节XY方向25x25mm。
标准单筒显微镜：
a. 连续变倍模块，0.6-5倍连续可调。
b. 配备5x，20x两个物镜，三物镜孔，可任意安装其余倍率物镜。
c. 光强弱可调，LED白光光源，旋钮调节。
d. 1000万像素高清CCD，嵌入式系统，可测量拍照。帧率60，无延迟。
悬臂XYZ及电动面内旋转 ，四轴电动
