高精度转移台:
a. 衬底载物平台:
样品台温度可以在室温-220℃范围控制,精度±0.1℃,可存储10个变温转移工艺,每个工艺10段温度变化。升温时间及输出功率可调节。
(1)手动XY轴行程13/25mm可选,调节精度1um;
或:电动XY两轴精密位移平台,行程范围25mm。
(2)R轴手动旋转任意角度(5°以上精度是1°,5°以下精度是0.1°)
或:电动面内旋转模块,最小旋转精度0.005°。
b. 载玻片移动平台:
(1) 手动XY轴行程13/25mm可选,调节精度1um;
或:电动XY两轴精密位移平台,行程范围25mm。
(2)手动Z轴升降,粗调1um精度,细调0.5um精度;
或:电动样品Z轴升降,行程范围10mm,最小行程精度0.5um;
或:电动样品Z轴升降,行程范围20mm,最小行程精度0.1um;
或:电动样品Z轴升降,行程范围10mm,最小行程精度2nm。
应用方向:异质结慢速贴合,手套箱内自动贴合等;
c. 真空自动吸附样品,风冷样品台气路。
d. .360°可旋转夹具,方便安装载玻片,灵活调整;
e. .X/Y方向倾斜角度-10~10°;
f. 悬臂与样品台贴合时,视野调节XY方向25x25mm。
手动金相显微镜:
a. 相机接口C-mount CTV0.5(0.5X 摄像接筒、 C 型接口)。
b. 目镜 PLN10X22mm 一对。
c. 五孔物镜转换器。
d. 光源反射灯室 100-240V 宽电压,单颗大功率 5W LED,暖色。
e. 长工作距平场消色差金相物镜,5X/0.15 ,10X/0.3 ,20X/0.45 ,50X/0.55
f. 配置23寸高清显示屏。
电动Z轴升降及电动面内旋转两轴电动,配手动金相显微镜